株式会社エレクトロニカ IMT事業部

タービンブレード振動計測

半導体製造装置、ポンプ、モータなどの振動評価

半導体製造装置、或いは、ポンプ・モータなどの機器の定常状態の把握とメンテナンス等を適切に行うために、振動、AE（表面弾性波）を測定することが有効です。
AEの測定の応用例としては、リチュウムイオン電池の劣化の監視等があります。
上記信号の他に、必要に応じて、制御部からの制御信号等のデジタル信号も同時に測定する必要も出てきます。digitizerNETBOXは、8～16チャネルのアナログ入力と、最大11チャネルのデジタル入力の同時多点測定が可能です。
・振動：歪ゲージを使用して測定
・表面弾性波をAEセンサを使用して測定
・digitizerNETBOXを使用して、多チャネル・同時測定
・回転パルス：必要に応じてデジタル信号を計測

使用するデジタイザの例
digitizerNETBOX DN2.591-16
アナログ入力
16チャネル, 5 MS/s, 16ビット, 2.5 MHz, 512 Msamples
デジタル入力：11チャネル
SBench6-Pro

詳細は、下記を参照してください。
設備診断

EPR、ESRへの応用

コスト、サイズ、重量を削減した次世代EPR分光計のSpectrumのAWG（任意波形発生器）と

デジタイザを使用。
下記の特徴により応用可能。

・低ノイズ

・高信頼性
・マルチチャネル対応　～8チャネル
・SBench6使用しての演算機能

詳細は、下記を参照してください。
EPR, ESRへの応用

詳細説明（和文）

詳細説明（英文）

トータル測定時間が減少！高分解能・高SNR
デジタイザの高速アベレージング機能と画像拡大機能により、解析が容易な「TOF-MS質量分析計」をご紹介。

従来のTDCタイプの質量分析計の欠点を補い、それに代わるものとして、デジタイザの積分機能を用いた装置が使用されていますが、さらに高速サンプリング、高分解能が求められています。

詳細は、下記を参照してください。
TOF-MS質量分析計

加速器への応用

直線加速器のビームポジションモニタ、蓄積リングの加速性能ノニタ、粒子線の測定（シンチレータ出力）などへの応用例（CERN、DESY等）を紹介。
下記の特徴により応用可能。

・高速デジタイジング機能
・高分解能、高SNR
・高データスル－プット
・マルチチャネル対応　～48チャネル
・SBench6使用しての演算機能

詳細は、下記を参照してください。
加速器への応用
CERNの例
ドイツDESYの例

オペレータと機器を高磁場から保護するため、デジタイザシステムをリモートで操作可能

高磁界（100T）を最適制御するには、サブナノ秒毎に発射するプロセスの精度を向上させる必要がある
大きなコンデンサのバンクを起動するトリガイベントを互いに10ns以内に制御
1GS/sを超えるシングルショットサンプリングレート、完全同期の10チャネルデジタイザが必要

digitizerNETBOX DN6.221-12
　多チャネル、高速デジタイジング機能
　8ビット、12チャネル、1.25 GS/s
リモートコントロール機能
LAN 接続によるリモート制御
SBench6による、データ収集、表示機能

必要な分解能毎に、下記のdigitizerNETBOXも使用されている
DN2.592-16　16ビット、20MS/s、16チャネル
DN6.445-12　14ビット、500MS/s、12チャネル

詳細は、下記を参照してください。
高磁場計測への応用
東京大学の例

核融合炉に関するタチャンネル測定対応

核融合はエネルギー生成のための究極の目標
リーズナブルな価格で、多チャネルの同期測定の要求がある
・digitizerNETBOX DN2.xxx.xx或いはDN6.xxxx.xx
多チャネル同期計測が可能（～48チャネル）
・M4i.22xx.xx 或いはM4i.44xx.xx＋ドッキンングステーション
多チャネル同期計測が可能（～128チャネル/シャーシ）

詳細は、下記を参照してください。
核融合炉（多チャネル対応）
イギリスの例（英文）

統合されたマイクロカンチレバーにより原子をスキャン！

原子間力顕微鏡（AFM）の優れた解像度は、光ベースの顕微鏡よりも1000 倍以上に高感度
電子顕微鏡とは異なり、サンプルをその場で画像化可能
メカトロニクス、MEMS、および低ノイズ電子設計の専門知識を結集して、AFMシステムの
ナノテクノロジーの複雑さとコストを削減できる独自のソリューションの例

詳細は、下記を参照してください。
AFM 針先で原子をスキャンの例
針先で原子をスキャンする（和文）
針先で原子をスキャンする（英文）

ダイヤモンドの炭素原子を一度に1つずつ窒素原子に置き換える実験のために、Spectrum社の任意波形発生器を使用

・ダイヤモンドの炭素原子を一度に1つずつ窒素原子に置き換える実験のために、Spectrum社の任意波形発生器を使用
＜用途＞
レーザ、IQ変調を使用したマイクロ波信号、無線周波数パルスの生成、およびスピン状態を決定するためのデータ収集デバイスのトリガ制御
これには、10〜20nsecまでの非常に短いパルスが必要

使用AWG
generatorNETBOX　DN2.663-04
1.25 GS / s、16ビット、4アナログ出力、6ヂジタル出力
・このAWGの使用により、800ピコ秒という非常に高時間分解能で制御可能
・多チャネル出力、効果的に実験全体を実行可能

詳細は、下記を参照してください。
単一原子に関しての実験
シュツットガルト大学の例（英文）

Spectrum社AWGの並外れた精度と超低ノイズにより、光格子内を移動する原子を観測可能

光格子内を移動する原子の観測可能な成分を使用して、各レーザパルスから正確に適切な量のエネルギーを供給
Spectrum社AWGの並外れた精度と超低ノイズは、まさに必要な機能

AWG（任意波形発生器）カード
M4i.6622-x8
高分解能、高安定性、低ノイズ
16ビット、625MS/s、８チャネル同期出力

詳細は、下記を参照してください
単一原子を移動させるために使用されている Spectrum の AWG カード
サンディエゴ大学の例（和文）
サンディエゴ大学の例（英文）